제품 상세 정보:
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타입: | 세라믹 관 | 재료: | 탄화규소 |
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색: | 검정/회색 | 밀도: | ≥3.02g/cm3 |
사이즈: | 고객의 요구 | 용법: | 반도체 웨이퍼 탑재 장치 |
작동 온도: | 1380℃ | 항목: | 실리콘 결합된 실리콘 카바이드 세라믹 튜브와 파이프, 실리콘 질화물 파이프, NBSC |
구부리는 힘 20℃: | 250MPa | 유공성을 여십시오: | < 0.1% |
하이 라이트: | 실리콘 탄화물 광속,세라믹 가열기 분사구 |
R 이액션 소결된 탄화 규소 노는 반도체 웨이퍼 로딩·시스템에 사용했습니다
반응 소결된 탄화 규소 캔틸레버 슬러리는 반도체 웨이퍼 탑재 시스템의 핵심 부분입니다. 그것은 주로 광기전성 신 에너지 산업에서 사용됩니다. 분해되는 노에서 다결정 실리콘 웨이퍼 또는 단결정 실리콘 와퍼의 적용, 높은 온도 분위기 (1000-1300 'C)에서 실리콘 웨이퍼의 로딩과 교통 동안, 품질 규격은 고객 요구 사항에 따라 맞춤화될 수 있습니다.
광기전성 새로운 에너지 산업을 위한 탄화규소 붙여넣기. 주요 상술은 2378 밀리미터, 25550 밀리미터, 2660 밀리미터, 기타 등등입니다. 그것은 높은 온도 분위기에서 코팅과 수송 실리콘 웨이퍼의 과정에서 다결정 실리콘 웨이퍼 또는 단결정 실리콘 웨이퍼 (확산)을 코팅하기 위해 확산로에서 사용됩니다.
캔틸레버 슬러리는 안정적인 성능을 가지고 있고, 고온 환경 하에 형상을 바꾸지 않고, 로봇 자동 로딩과 제어 시스템을 위해 적당한 대형 웨이퍼 부하력을 가집니다. 캔틸레버 슬러리 표면이 안정적이고 변형시키지 않기 때문에, 더 큰 라운드 튜브의 상술로 준비하기 위해 현존하는 로심관을 사용하는 것은 가능하게 됩니다.
캔틸레버 슬러리의 열팽창계수는 감압 CVD 코팅의 그것과 유사하고 그것이 매우 유지와 세척 주기를 연장하는 감압 CVD에 적용되고, 매우 오염을 감소시킵니다.
SISIC 기술적 날짜 | ||
항목 | 유닛 | 자료 |
애플리케이션의 최대 온도 | 오크 | 1380 |
비중 | g/cm3 | ≥3.02 |
열린 작은 구멍 | % | <0> |
휨의 세기 | Mpa | 250(20oC) |
Mpa | 280(1200oC) | |
탄성 계수 | Gpa | 330(20oC) |
Gpa | 300(1200oC) | |
열전도율 | W/m.k | 45(1200oC) |
열 팽창율 | K-1×10-6 | 4.5 |
강성 | 13 | |
신 알칼리성 증명 | 우수합니다 |
시식 탄화규소 노의 사진
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